AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究

• 作者: 冯世绪 安小广 王加春 陈建超
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 扫描参数 成像质量 轻敲模式 幅值误差
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 789-795
• 页数: 7页
• 分类号: TB92
• 字数: 3649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.04

摘要

针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析.提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响.发现了扫描频率fs、积分增益I和幅值设定点S这3个扫描参数间相互影响的现象,在S低较低情况下可设置更大的fs和I,在获取高质量成像的同时,提升了测量效率,对扫描参数的合理设置提供了可靠的操作准则.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王加春	燕山大学机械工程学院	27	134	8.0	10.0
3	陈建超	燕山大学机械工程学院	4	9	1.0	3.0
7	安小广	燕山大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
8	冯世绪	燕山大学机械工程学院	2	9	1.0	2.0