微小零件显微检测图像的清晰度评价

• 作者: 于化东 于占江 李一全 李成超 许金凯
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 自动对焦 清晰度评价 局域方差信息熵 微小零件 显微图像
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术及应用
• 页码范围: 103-107,113
• 页数: 6页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.022

摘要

根据微小零件显微检测图像纹理相似、边缘信息太少和灰度分布范围有限等特点,从算法的基本原理出发,对传统清晰度评价函数进行了分析.针对传统清晰度评价函数无法兼具高灵敏度和抗噪性的缺陷,提出了一种基于局域方差信息熵的清晰度评价算法.该算法利用局域方差对各灰度级的自信息量进行加权,一方面弥补了信息熵函数缺失的空间信息,避免清晰度误判;另一方面增加清晰区域像素参与计算信息量时的权重,同时减少背景区域和噪声区域像素计算的权重,从而提高函数灵敏度.实验结果表明,与传统清晰度评价函数相比,局域方差信息熵函数不仅灵敏度很高,而且具有较好的抗噪性,可用于实际的自动对焦系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于化东	长春理工大学跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室	86	480	11.0	18.0
2	许金凯	长春理工大学跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室	75	356	9.0	16.0
3	于占江	长春理工大学跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室	32	123	5.0	10.0
4	李一全	长春理工大学跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室	20	46	3.0	6.0
5	李成超	长春理工大学跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0