半球透镜膜厚分布分析

• 作者: 朱元强
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半球透镜 行星夹具 膜厚分布 不均匀性 蒸发源
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.8
• 语种: 中文

摘要

根据行星夹具的膜厚理论模型,对半球透镜表面的膜厚分布进行理论分析研究.推算半球面上典型点的膜厚公式,用代入法对不同情况的膜厚分布进行计算,结果表明半球面上中心区域(90°张角内)的膜厚不均匀性可控制在10％左右,其边缘区域(张角大于90°)的膜厚不均匀性高达90％;改变蒸发源的位置对改善膜厚均匀性没有明显帮助,但改变蒸发源的形式能改善膜厚均匀性.该研究工作对半球透镜表面镀膜的膜厚均匀性分析及改善具有一定的理论指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱元强		2	0	0.0	0.0