半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析

• 作者: 卓平欢
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 半导体器件生产生间 洁净空调系统 风量 节能
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺探讨
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TU83
• 语种: 中文

摘要

随着国内半导体器件技术不断发展和广泛应用,使得洁净车间空调系统的节能成为关注和研究的焦点问题.通过对半导体器件生产车间空调系统的特点进行了分析,并以某工程为例,说明该类空调系统能耗大的现状.在此分析基础上,从将室外新风与室内回风分离、调节减小系统送风量,利用变频技术优化控制系统及运行管理等方面,提出解决洁净系统运行节能的思路及措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卓平欢		1	0	0.0	0.0