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摘要:
以高纯超细CdTe粉体为原料,采用真空热压法,对工艺进行正交化实验设计,优化工艺参数,得到制备高致密度,晶粒度均匀CdTe靶材的工艺制度.以烧结温度、保温时间、烧结压力为因素,设计L9(34)正交实验表,对正交化实验数据结果进行极差和方差分析,确定了制备工艺参数对靶材致密度的影响程度:保温时间的改变对靶材致密度影响显著,其方差检验统计量F值达到86.25,靶材的致密度随保温时间的增加而增加,但超过一定时间后,会出现反致密化现象;烧结温度具有一定的影响;而烧结压力对其影响较小,其F值仅为2.5.正交化实验分析建议给出了CdTe靶材最佳制备工艺条件为:烧结温度580℃、保温时间60 min、烧结压力33 MPa.X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM)和阿基米德排水法的检测结果表明:采用最优工艺制备得到了高质量的CdTe靶材,其相结构相比原料粉体不发生改变,靶材的晶粒度均匀,致密度达到99.4%.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 正交化制备CdTe靶材试验研究
来源期刊 稀有金属 学科 工学
关键词 CdTe靶材 薄膜太阳能电池材料 真空热压 正交实验
年,卷(期) 2020,(2) 所属期刊栏目 研究简报
研究方向 页码范围 215-219
页数 5页 分类号 TM914
字数 语种 中文
DOI 10.13373/j.cnki.cjrm.XY14022001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 储茂友 25 211 10.0 14.0
2 张碧田 10 68 4.0 8.0
3 王星明 24 157 9.0 12.0
4 李思钦 2 0 0.0 0.0
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CdTe靶材
薄膜太阳能电池材料
真空热压
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