激光锡等离子体极紫外光谱的优化研究

• 作者: 宋晓伟 李镇广 林景全 王海建 窦银萍 谢卓
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光刻 光源 激光等离子体 光谱 锡靶
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 页码范围: 69-75
• 页数: 7页
• 分类号: TN3

摘要

激光等离子体EUV光源对于集成电路纳米尺度器件的制造具有重要意义。激光等离子体EUV光谱的优化是EUV光源广泛使用的前提,所以本文通过增大入射激光能量,改变光斑大小和脉冲数方法优化Sn靶EUV光谱。结果表明,Sn靶EUV光谱强度随着入射激光能量的增加而增加。通过改变透镜位置,使得光谱增强到1.27倍。此外,利用碰撞–辐射模型(CR模型)建立Sn离子分布与电子温度的对应关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林景全	长春理工大学超快光学实验室	47	295	8.0	16.0
2	窦银萍	长春理工大学超快光学实验室	7	26	2.0	5.0
3	宋晓伟	长春理工大学超快光学实验室	11	59	3.0	7.0
4	王海建	长春理工大学超快光学实验室	1	0	0.0	0.0
5	李镇广	长春理工大学超快光学实验室	1	0	0.0	0.0
6	谢卓	长春理工大学超快光学实验室	4	0	0.0	0.0