毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统

• 作者: 张树 施玉书 李伟 李琪 连笑怡 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米几何特征尺寸 多自由度激光干涉系统 激光干涉仪修正 计量标准装置
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 769-774
• 页数: 6页
• 分类号: TB921
• 字数: 4071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.01

摘要

准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系.为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源.实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	李伟		27	92	5.0	8.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	李琪		21	48	4.0	5.0
5	黄鹭		13	16	2.0	3.0
6	连笑怡		5	6	2.0	2.0
7	张树		6	6	1.0	2.0