液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响

• 作者: 张斌 强力 牟志星 王兆龙 王凯 薛勇 高凯雄
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 含氢非晶碳膜 激冷 摩擦 磨损 热稳定性
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 82-88
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 4436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2019094

摘要

采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜.加热到相应温度(200、250、300、350和400℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化.结果表明:薄膜硬度在200～300℃温度下液氮激冷后,其硬度随热处理温度增加,C-C sp2键逐渐增加;在350～400℃温度下液氮激冷处理后,薄膜的硬度逐渐减小,薄膜呈石墨化趋势;而其弹性恢复在整个处理过程(200～400℃)中随温度升高持续增大,和C-C sp2键变化趋势一致.液氮激冷处理后,含氢非晶碳膜的摩擦系数及磨损量均得到改善,在300℃激冷处理的含氢非晶碳膜具备最低的摩擦系数及磨损量.