多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究

• 作者: 张妹 王宜豹 王韶琰 盖志刚 邱慧敏 郭风祥
• 来源期刊: 山东科学
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 多层结构 金刚石薄膜 应力分析
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 新材料
• 页码范围: 61-67
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 字数: 2074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3976/j.issn.1002-4026.2020.01.009

摘要

采用热丝化学气相沉积方法,优化金刚石薄膜制备工艺.通过改变甲烷浓度成功制备出厚度均匀的多层金刚石薄膜,实现了多种调制周期的金刚石薄膜制备,调制周期最小至100 nm.通过拉曼光谱和X射线衍射方法对单层以及多层金刚石薄膜进行应力分析,发现单层结构中,微米金刚石薄膜应力最大,随着金刚石晶粒尺寸的减小,薄膜应力减小;多层金刚石薄膜结构中,微米层与纳米层均匀交替生长,有效地降低了薄膜应力,有利于提高金刚石薄膜在应用中的稳定性.