内径20mm导向套筒内壁处理(1):空心阴极氩气放电特性研究

• 作者: 刘海波 周永兴 岳玲 巩春志 张明明 田修波 石月娟 马玉山
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 导向套 内壁 空心阴极 放电特性
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.10

摘要

针对高端阀门内径20mm导向套内壁处理,采用高频高压脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气压、脉冲电压和频率等参数对导向套空心阴极放电伏安特性的影响,并对工件间距及与阳极距离等放电结构进行了研究.结果表明:管内空心阴极放电需要一个稳定过程,脉冲电流随着时间的增加逐步降低,而后达到稳定放电阶段.提高脉冲电压或工作气压,管内空心阴极脉冲峰值电流增加.脉宽或频率的增加,脉冲峰值电流不变,但平均电流增加,且频率的增加使得激励时间减少.放电结构的分析表明,管间距的减少,放电电流变化不大,而管口与阳极之间距离的减少,使得放电峰值电流略有增加.以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁薄膜制备提供了有效指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	岳玲		3	0	0.0	0.0
3	石月娟		6	24	2.0	4.0
4	马玉山		19	68	5.0	8.0
5	刘海波		9	7	2.0	2.0
6	周永兴		1	0	0.0	0.0
7	张明明		1	0	0.0	0.0