触摸屏用低方阻PET导电薄膜镀膜工艺研究

• 作者: 刘月豹 巩燕龙 郑琦林 高峰
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 低方阻 柔性PET ITO膜 导电薄膜 触摸屏
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171
• 字数: 2997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2020.03.010

摘要

触摸屏加工需要使用的导电薄膜材料主要以ITO导电玻璃和ITO导电薄膜为主,随着触控终端的轻薄化,PET导电膜的应用越来越广,目前常规导电膜材料在应用于中大尺寸触摸屏产品时,会产生延迟及触摸不灵敏的情况.从镀膜工艺角度出发,研究在PET上进行低方阻ITO溅射,测试结果表明,低阻ITO薄膜性能稳定可靠,工艺量产可行,产品性能可以满足市场需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月豹		8	2	1.0	1.0
2	郑琦林		4	0	0.0	0.0
3	巩燕龙		1	0	0.0	0.0
4	高峰		1	0	0.0	0.0