应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究

• 作者: 丁桂甫 唐智勇 戴旭涵 赵小林 邵秀锋 黄建泽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 非线性平面微弹簧 仿真 集成制造
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 167-172
• 页数: 6页
• 分类号: TP393
• 字数: 2510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.02.002

摘要

平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构.目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点.本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度微弹簧.研究包括通过仿真分析确定了弹簧的结构方案和影响因素,提出了配套的原位集成制造微加工工艺,并测试了所研制"V型"平面微弹簧的非线性特性,验证了所提出方案的可行性.为非线性弹簧的进一步设计和应用提供参考.