WO3薄膜制备及其电致变色性能研究

• 作者: 代明江 唐鹏 夏翥杰 张治国 林松盛 王红莉 石倩 苏一凡
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: WO3薄膜 非晶态 电致变色性能 循环稳定性
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 47-52
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TB43
• 字数: 4141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.09

摘要

采用直流反应磁控溅射方法在室温下制备WO3薄膜.研究溅射功率对WO3薄膜结构及电致变色性能的影响规律,考察退火后WO3薄膜的结构演变及电致变色性能变化.结果表明溅射功率为270W时薄膜表现出较好的电致变色性能,其调制幅度达78.5％,着色时间为9s,褪色时间为3.2s.将该功率下制备的WO3薄膜进行退火处理,其结构由非晶态转变为晶态,但调制幅度、响应时间特性都发生一定程度的退化.非晶态WO3薄膜相比晶态结构具有更快的响应时间和更宽的调制幅度,但晶态薄膜具有更好的循环稳定性.