氮化钽换能元的制备工艺研究

• 作者: 任小明 刘兰 刘卫 苏谦 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 换能元 氮化钽 MEMS 发火能量 工艺
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TJ45+3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2020.01.007

摘要

开展了一种制备氮化钽换能元的工艺研究,利用射频电源溅射氮化钽薄膜,采用剥离工艺制备氮化钽换能元图形,获得满足完整性、一致性和重复性要求的氮化钽换能元.依据GJB/z377A-94感度试验用兰利法,测得氮化钽换能元发火能量为0.6mJ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	12	27	3.0	5.0
2	薛艳	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	27	3.0	5.0
3	任小明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	8	24	3.0	4.0
4	刘兰	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	7	18	2.0	4.0
5	刘卫	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	4	1	1.0	1.0
6	苏谦	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	2	0	0.0	0.0