退火时间对FeGaB/Al2O3多层薄膜性能的影响

• 作者: 倪经 周俊 张明 徐德超 林亚宁 邹延珂 黄河
• 来源期刊: 磁性材料及器件
• 学科: 工学
• 关键词: FeGaB/Al2O3 多层薄膜 退火时间 铁磁共振线宽
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·分析·实验
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TM271+.2|O484.4+3
• 字数: 1466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2020.03.002

摘要

现代电子元器件的高速发展,以及磁性元器件小型化、集成化需求日益增长,推动了纳米级磁性功能薄膜材料的研究.以高饱和磁致伸缩系数、低矫顽力的FeGaB薄膜材料为研究基础,以提高薄膜软磁性能为目标,使用脉冲激光沉积系统制备了FeGaB/Al2O3复合多层薄膜,发现在350℃的生长环境下,未退火的样品成膜质量较好,但软磁性能一般.为了提高磁性能,进行一组不同退火时间下的退火实验,实验发现样品的铁磁共振线宽较大,且退火时间对吸收峰强度影响较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周俊	中国电子科技集团公司第九研究所	10	14	2.0	3.0
2	张明	中国电子科技集团公司第九研究所	16	48	4.0	6.0
3	黄河	中国电子科技集团公司第九研究所	4	2	1.0	1.0
4	徐德超	中国电子科技集团公司第九研究所	1	0	0.0	0.0
5	林亚宁	中国电子科技集团公司第九研究所	2	1	1.0	1.0
6	倪经	中国电子科技集团公司第九研究所	1	0	0.0	0.0
7	邹延珂	中国电子科技集团公司第九研究所	1	0	0.0	0.0