基于端面耦合的InP基激光器/硅光波导混合集成技术研究

• 作者: 唐光华 孔月婵 尤国庆 徐鹏霄 王东辰 王艳
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: InP基激光器 硅光波导 端面耦合 混合集成
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: TN256|TN491
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.01.003

摘要

针对硅光子集成回路缺少实用化光源的问题,提出了一种1.55μm波段InP基FP激光器芯片、InP基PIN光电探测器芯片与硅光波导芯片集成模块的设计与制备方法.使用CMOS工艺兼容的硅光无源器件制备工艺,设计并制备了倒拉锥型端面耦合器,与锥形透镜光纤耦合效率为36.7％.采用微组装对准技术将激光器芯片与硅波导芯片耦合、UV固化胶固化后耦合效率为35.8％,1 dB耦合对准容差横向为1.2 μm,纵向为0.95 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐光华		10	14	2.0	3.0
2	王艳		4	2	1.0	1.0
3	孔月婵		17	1	1.0	1.0
4	徐鹏霄		7	4	1.0	2.0
5	王东辰		2	0	0.0	0.0
6	尤国庆		1	0	0.0	0.0