关于(Ti,Cr)N膜摩擦学性能的研究

• 作者: 但敏 刘彤 沈丽如 金凡亚 钟利 陈美艳
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀技术 合金靶材 TiCrN复合薄膜 耐磨性能
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TG144|TG146.2+3|TG176
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.06

摘要

为了研究多弧离子镀技术中所用靶材与薄膜成分比例的关系,并对比不同成分比例的(Ti,Cr)N膜的摩擦学性能,设计制备了纯Ti靶、纯Cr靶及钛铬比分别为9:1、4:1和1:1的钛铬合金靶共5种靶材进行镀膜试验.利用扫描电子显微镜观察薄膜微观形貌,利用X射线能谱分析仪对微区成分进行定性和半定量分析,利用X射线衍射分析薄膜结构,通过摩擦磨损试验测试薄膜的耐磨性,最终以磨痕宽度、磨痕深度和磨痕长度来计算磨损体积,以磨损体积表征不同膜的耐磨性能.测试结果表明,合金靶制备的薄膜中成分比例并不与靶材中的成分配比一致,但均具有TiCrN(200)择优取向.纯靶制备的薄膜表面最为细腻,TiCrN膜的粗糙度随Cr含量的提高而降低.TiCrN膜的硬度和耐磨性明显优于纯靶制备的薄膜,在靶材配比Ti:Cr=4:1时制备的Ti0.3Cr0.23N薄膜硬度最高(HV0.053274.9)、耐磨性能最好.以合金靶制备复合薄膜时,薄膜中的成分比例受单一金属离化率的影响较大,受靶材中金属配比的影响较小;在薄膜中添加硬质元素可以改善膜的质量、提高耐磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	金凡亚		57	226	8.0	12.0
3	沈丽如		52	377	11.0	16.0
4	但敏		28	57	4.0	5.0
5	钟利		2	0	0.0	0.0
6	刘彤		1	0	0.0	0.0