面向多品种、小批量微电子制造过程的SPC技术应用研究

• 作者: 刘岗岗 卢辉昊 唐拓 王旭亮 胡锐
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 微电子制造 统计过程控制 低成本
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 理论与研究
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2020.01.002

摘要

统计过程控制(SPC)是质量管理中一种常用的工具,但由于高可靠微电子元器件生产企业绝大部分都是多品种、小批量生产,工序常规的SPC模型已经不能对这类生产型企业工序状态进行有效的监控.该文着重探讨分析一种嵌套回归SPC模型,这种SPC模型更适合成本较高的多品种、小批量生产模式,即能降低分析控制成本,又能很好地解决多品种、小批量生产统计过程控制所需数据不足的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡锐		7	17	3.0	3.0
2	刘岗岗		1	0	0.0	0.0
3	唐拓		1	0	0.0	0.0
4	卢辉昊		1	0	0.0	0.0