基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

• 作者: 任小明 刘兰 刘卫 苏谦 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 微起爆器 MEMS技术 Ni-Cr换能元 仿真计算 性能测试
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TJ45+2.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2020.01.004

摘要

针对MEMS火工品低能化、集成化技术要求,设计了一种基于MEMS工艺的微起爆器,通过仿真计算获得了基体材料、换能元材料、火工药剂与微起爆器起爆性能的影响规律,确定了微起爆器的结构参数;通过MEMS工艺完成微起爆器一体化集成制作,对结构参数以及起爆性能进行了测试,结果表明结构尺寸与设计尺寸误差小于6％;微起爆器发火电压小于3V,装药直径1mm、装药量2.0mg时,可以可靠起爆CL-20炸药,实现了低能化、集成化的要求,为MEMS火工品提供技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	12	27	3.0	5.0
2	薛艳	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	27	3.0	5.0
3	任小明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	8	24	3.0	4.0
4	刘兰	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	7	18	2.0	4.0
5	刘卫	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	4	1	1.0	1.0
6	苏谦	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	2	0	0.0	0.0