碳化硅涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展

• 作者: 康媛媛 康文杰 张永辉 白鸽 程皓 苏君明 赵杉
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 工学
• 关键词: 炭/炭热场材料 碳化硅涂层 直拉法
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 6-8,24
• 页数: 4页
• 分类号: TB332
• 语种: 中文
• DOI: 10.14078/j.cnki.1001-3741.2020.03.002

摘要

碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层的发展提出了建议和方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏君明		7	31	2.0	5.0
2	程皓		4	0	0.0	0.0
6	白鸽		2	0	0.0	0.0
7	赵杉		2	0	0.0	0.0
8	康媛媛		2	0	0.0	0.0
9	康文杰		3	0	0.0	0.0
10	张永辉		3	0	0.0	0.0