电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究

• 作者: 郑凌晨 魏小华
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 压电致动器 电磁辅助 性能测试
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 857-863
• 页数: 7页
• 分类号: TB97
• 字数: 3238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.15

摘要

传统的压电致动器,受限于压电致动的小行程,通常只能测量较小的范围.研发了一种电磁辅助压电致动器,同时具备电磁式致动器长行程与压电式致动器高分辨率的特点,该致动器包含可动件、导引槽、挠性件、电磁铁、压电元件以及控制电路.首先调整挠性可调预压装置并设定电磁铁电流,使得电磁致动力处于最大静摩擦力与动摩擦力之间;再利用压电组件所产生的微震动,控制可动件与导引槽之间的接触情况在静摩擦与动摩擦之间切换,从而完成长行程(10 mm)且高分辨率(1.5 μm)的往复运动.实验结果表明该致动器具备出色的定位能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏小华	衢州职业技术学院机电工程学院	31	35	4.0	5.0
2	郑凌晨	衢州职业技术学院机电工程学院	3	4	2.0	2.0