250mm口径低温泵设计

• 作者: 孙志和 曾环 邓家良
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 低温泵 制冷机 吸附阵 热负荷 有限元分析
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TB752+.53
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.03

摘要

介绍了250mm口径低温泵的设计及计算,详细列出壳体、吸附阵、冷屏、障板等部件的设计.文中对壳体强度,冷屏、障板和冷凝板的热负荷进行详细计算.通过对冷屏、障板和吸附阵进行温度场分析,校核了计算的准确性,同时又为实际试验提供了理论依据和温度参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙志和		5	2	1.0	1.0
3	曾环		1	0	0.0	0.0
7	邓家良		1	0	0.0	0.0