异形管几何要素自动测量方法及误差分析

• 作者: 王卓 王建 齐麟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 异形管 尺寸测量 误差分析 行波管
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 17-22
• 页数: 6页
• 分类号: TN124
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.01.04

摘要

本文根据空间行波管高频组件异形管零件的设计要求,考虑加工设备的固有精度、表面处理工艺过程带来的误差,编写了测量程序,实现了异形管零件内外径复杂轮廓的自动精密测量.实际应用时,利用探针、影像复合式测量仪和自研模具完成了Ku波段空间行波管异形管零件的测量,解决了影像模式下边界存在不确定度,探针模式下定位定向困难的问题;提出了用特征点的Y坐标值代替垂线段的长度的算法;分析了测量误差的来源,提出了最大限度减小误差的装夹和测量方法,各个几何要素的测量精度全部控制在设备精度以内.单根异形管的测量时间从原来纯影像的5增加到10 min,工作效率有一定的牺牲,内外径测量深度仅为4mm,效率和测量深度还有待进一步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	154	3577	30.0	54.0
2	齐麟	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	7	39	3.0	6.0
3	王卓	中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心	31	146	7.0	11.0