基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究

• 作者: 刘朝阳 张卫平 田梦雅 薛冰 谷留涛
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微多环陀螺仪 电容检测 馈通效应 电学模型 馈通取消
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: V241.554
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.011

摘要

由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中,不可避免地会引入馈通信号,而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性,不能有效地消除馈通信号.针对此问题,提出了一种基于反相信号的馈通取消方案,通过在驱动和检测电极之间施加与馈通信号反相的信号,从而抵消馈通效应带来的干扰,该方法理论上可以在不降低驱动力的情况下将馈通信号完全取消.实验结果表明,该方法能有效消除馈通信号对电容检测的影响,谐振峰高度可提高约25倍.