浅析含氟电子气体相关标准现状及发展趋势

• 作者: 史婉君 张建君 徐娇 方小青 杜肖宾 鬲春利
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 含氟电子气体 标准 发展趋势
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TQ117
• 字数: 3585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2020.01.002

摘要

首先介绍了含氟电子气体研究现状,然后分析了含氟电子气体相关的标准情况及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建君		40	49	4.0	6.0
2	史婉君		11	19	3.0	4.0
3	鬲春利		8	9	2.0	3.0
4	徐娇		9	2	1.0	1.0
5	方小青		5	3	1.0	1.0
6	杜肖宾		2	0	0.0	0.0