微波等离子体技术及研究进展

• 作者: 关银霞
• 来源期刊: 安全、健康和环境
• 关键词: 微波 等离子体 温度特性 光谱特性 应用研究
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 字数: 5537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7932.2020.02.001

摘要

从微波等离子体发生及应用研究两个方面综述微波等离子体技术及研究进展,先从微波激励气体放电工作原理及能量传递方式两方面介绍微波等离子体技术,在此基础上,结合实验结果及现有研究成果对微波等离子体的发射光谱特性及温度特性进行论述.在微波等离子体应用研究方面,归纳总结了电子回旋共振微波等离子体、表面波等离子体、谐振腔微波等离子体等几种典型的微波等离子体技术及其特点,结合在薄膜沉积、废气处理、微量元素检测等方面的应用研究现状,对微波等离子体技术存在的问题及发展趋势进行了分析和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关银霞	中国石化青岛安全工程研究院化学品安全控制国家重点实验室	2	0	0.0	0.0