“直接固体进样”辉光放电质谱法(GDMS)分析高温合金、工程涂层、薄膜和粗糙表面痕量元素的研究进展

• 作者: 孟昭武(编译) 艾思源(编译)
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 化学
• 关键词: 辉光放电质谱法 痕量分析 深度剖面 合金 工程涂层
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 47-52
• 页数: 6页
• 分类号: O65

摘要

辉光放电质谱法(GDMS)是一种直接固体进样技术,在航空航天、半导体、能源、医疗器械等领域的高灵敏度痕量元素分析中具有重要的应用价值。文中给出了几个应用实例,包括在质量控制、生产支持和失效分析中的应用。GDMS是全测量分析的首选技术,特别是用于监测高温合金中的临界体痕量杂质(如S、Se、Pb等),因为它具有特殊的长期重现性(年测量RSD<10%)。配备了快速流辉光放电源的GDMS是一种非常灵敏的检测技术,在直流模式下分析工程涂层中痕量杂质厚度达100余毫米,在调制模式下分析金属氧化物薄膜中的痕量杂质厚度达100余纳米。我们还证明了这种GDMS技术也是粗糙表面的近表面化学分析的有效工具。