管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究

• 作者: 吴得轶 李明 郭艳
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 管式 PECVD 反应室 结构 流场数值仿真 优化设计
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TK513.5
• 字数: 2552字
• 语种: 中文

摘要

根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计.数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明		3	0	0.0	0.0
2	郭艳		2	0	0.0	0.0
3	吴得轶		1	0	0.0	0.0