精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析

• 作者: 刘波 卢志伟 张君安 黄鹏
• 来源期刊: 液压与气动
• 学科: 工学
• 关键词: 闭式平面气浮导轨 二维气浮工作台 精密 高刚度
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 96-101
• 页数: 6页
• 分类号: TH138
• 字数: 1896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2020.03.015

摘要

目前精密二维气浮工作台的研究,存在着二维气浮工作台的刚度和承载力较小的问题,设计了一种以精密方箱为基准的精密高刚度二维气浮工作台.该气浮工作台采用整体式气浮导轨副设计,全部构件以精密方箱为位置基准,用精密方箱自身的高平面度、平行度和垂直度来保证X轴和Y轴导轨的运行直线精度和系统刚度,并且工作台采用直线电机驱动,消除了传统机械传递带来的误差.该实验台具有机械精度高、运动直线度高、系统刚度大、安装维护容易等特点,能在精密加工、精密测量领域中广泛使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张君安	西安工业大学机电工程学院	92	396	11.0	15.0
2	刘波	西安工业大学机电工程学院	74	349	10.0	14.0
3	卢志伟	西安工业大学机电工程学院	35	149	9.0	11.0
4	黄鹏	西安工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0