类富勒烯碳薄膜的结构演变及摩擦学性能研究

• 作者: 岳照凡 张俊彦 杨保平 王永富 白永庆
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 类富勒烯碳薄膜 化学气相沉积 摩擦配伍对
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 7-10,22
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 1723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2020.01.001

摘要

通过等离子体增强化学气相沉积技术,以不同沉积时间在硅表面上制备类富勒烯碳薄膜,探究类富勒烯碳薄膜结构演变和摩擦学性能随沉积时间变化规律.利用拉曼光谱和透射电子显微镜,考察类富勒烯碳薄膜微结构和表面形貌随沉积时间的变化.结果表明:碳薄膜内类富勒烯结构含量随沉积时间先增加后保持不变;采用沉积时间为3 h的类富勒烯碳薄膜组成摩擦配伍对,当载荷从8 N增加到14 N时,摩擦因数从0.013降至0.006,即随载荷的增加实现了由低摩擦向超滑的转变.这是因为摩擦诱使类富勒烯碳薄膜发生结构转变,并形成有利于减少摩擦的类球状或外部石墨壳层闭合的纳米颗粒.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永富	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	13	45	4.0	6.0
2	杨保平	兰州理工大学石油化工学院	140	910	15.0	21.0
3	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	59	707	12.0	25.0
4	白永庆	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	岳照凡	兰州理工大学石油化工学院	2	1	1.0	1.0