锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法

• 作者: 刘震宇 宁提 杨刚 肖钰 范博文
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 锑化铟 盲元分析 红外焦平面器件
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2020.01.002

摘要

提出了一种锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法.利用该方法,无需将器件背面减薄就能进行盲元测试与分析.基于这种封装方式,将器件倒置后,从芯片正面吸收光的照射,在互连、灌胶以及每一步磨抛工艺步骤后均可进行测试和分析.结果 表明,该方法能够有效地分析和定位每步工序过程中产生的盲元情况,可解决现有技术手段中对红外焦平面器件因产生盲元导致像元失效而无法准确定位其出现在哪步工艺的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范博文		5	3	1.0	1.0
2	肖钰		9	20	3.0	4.0
3	宁提		8	3	1.0	1.0
4	杨刚		2	1	1.0	1.0
5	刘震宇		2	4	1.0	2.0