多晶硅还原炉装备发展展望

• 作者: 严大洲 汪绍芬 石何武 郑红梅
• 来源期刊: 有色设备
• 学科: 工学
• 关键词: 还原炉 节能降耗 多晶硅 装备
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-3,29
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8884.2020.01.001

摘要

基于改良西门子多晶硅生产工艺技术的关键设备众多,因此研究各类关键设备的特性是一件非常有意义的事情;还原炉作为最终产品的关键生产设备,其性能的好坏对多晶硅的生产有着举足轻重的作用,还原炉的大小、结构形式、材质等直接决定了多晶硅产品的品质、能耗等关键生产参数,因此本文就还原炉的特性进行分析,展望未来多晶硅还原炉的发展,旨在帮助各生产企业根据自身的发展需求选择合适的还原炉炉型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严大洲		20	103	5.0	10.0
2	汪绍芬		8	27	1.0	5.0
3	郑红梅		7	9	2.0	3.0
4	石何武		9	17	2.0	4.0