基于石墨烯场效应晶体管的光电混频器研究

• 作者: 吴云 曹正义 王琛全 顾晓文
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯场效应晶体管 光电混频器 叉指电极 混频效率
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 166-169,175
• 页数: 5页
• 分类号: TN29
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.03.003

摘要

研究了基于石墨烯场效应晶体管(GFET)的光电混频器(Optoelectronic Mixer,OEM).器件采用叉指电极结构,增大了器件的光吸收效率,并避免了顶栅结构栅金属对光的反射作用.采用基于7.62 cm硅基GFET的圆片工艺,实现了栅长为1μm共8指的器件制备.测试结果表明,器件的工作频率达到20 GHz.在20 GHz工作频率下,器件光探测响应度达到2.8 mA/W,光载20 GHz射频变换到1 GHz中频的混频效率为-15.87 dB.