单晶硅炉用炭/炭复合材料埚帮使用寿命的影响因素研究

• 作者: 啜艳明 王家骏 王金铎 胡晓东 郭宾
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 工学
• 关键词: 炭/炭埚帮 使用寿命
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TB332
• 语种: 中文
• DOI: 10.14078/j.cnki.1001-3741.2020.03.008

摘要

针对炭/炭埚帮在单晶硅拉晶过程中不断受到硅蒸气的腐蚀以及硅料与石英坩埚的共同挤压等,使得埚帮出现破损报废问题,根据埚帮在热场中的破坏机理,从CVD设备规格、预制体的编织方式、热解炭涂层、产品密度、高温处理温度、加工次数等几个方面研究了对埚帮使用寿命的影响.结果 表明,采用小炉型沉积,轴向采用无纬布,环向采用炭纤维缠绕,斜向±45°采用长纤维缠绕,以炭纤维体积比为1∶3∶1的比例,分别与炭纤维网胎针刺成型的预制体,经高温热解炭涂层,产品密度为1.55 g/cm3以上,机械加工2次,并且在1 850℃高温处理下,所制得埚帮达到了的设计寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金铎		4	2	1.0	1.0
2	啜艳明		4	2	1.0	1.0
3	郭宾		3	0	0.0	0.0
4	胡晓东		3	0	0.0	0.0
5	王家骏		1	0	0.0	0.0