等离子抛光石英玻璃特性研究

• 作者: 李民久 聂军伟 郑才国 陈庆川 陈美艳
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束抛光 入射角 射频离子源 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.15

摘要

离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤.本文将射频等离子体应用于石英玻璃的加工,对射频等离子体抛光效应进行了研究.分析通过改变离子束的能量、束流和入射角等工艺参数,对抛光效果的影响.试验结果表明,表面粗糙度RMS随着离子束能量的增大先降低后升高,离子束抛光能量为600eV时,粗糙度到达最小,为1.73RMS/nm,离子束束流为200mA时,粗糙度到达最小为1.26RMS/nm.表面粗糙度随抛光时间增加先降低后升高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	陈庆川		23	63	5.0	7.0
3	郑才国		16	41	3.0	6.0
5	聂军伟		10	10	2.0	2.0
6	李民久		7	2	1.0	1.0