基于敏感薄膜的F-P光纤温度传感器的高温特性

• 作者: 彭建坤 高晓丹
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤传感器 薄膜 热应力 温度特性
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 25-28,34
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.005

摘要

根据薄膜型光纤温度传感器的感温原理及光学薄膜的应力特性,利用膜层干涉的特征矩阵分析了传感元件的传感特性,建立了薄膜型光纤温度传感器的热应力特性及其对传感特性影响的理论模型.通过对薄膜和光纤的热光效应和热膨胀特性的分析,对比了蓝宝石光纤、纯硅芯光纤和普通多模光纤三种光纤基底的热应力-温度特性,设计了高温传感器传感探头的薄膜膜系,分析了膜系中每层膜的热应力-温度特性,以及临界载荷应力特性,确定所选光纤基底脱膜的临界应力值.通过模拟不同应力作用下的光谱传感特性,为传感器薄膜敏感探头的稳定性和可靠性提供理论依据和支持,提高传感器研制的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高晓丹	武汉东湖学院电子信息工程学院	16	43	4.0	6.0
2	彭建坤	武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室	3	19	2.0	3.0