电极参数对氧化铝陶瓷平面螺旋电感器电性能的影响

• 作者: 张岩 施威 朱建华 李秀山 陆松杰
• 来源期刊: 磁性材料及器件
• 学科: 工学
• 关键词: 平面螺旋电感 电极参数 电性能 仿真分析 测试
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术·应用
• 页码范围: 35-38,50
• 页数: 5页
• 分类号: TM55
• 字数: 1366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2020.02.008

摘要

为了提高电感器的自谐频率,采用半导体工艺制作了一款氧化铝陶瓷平面螺旋电感器,应用网络分析仪单端头法测试平面螺旋电感器的S值,推导出它的电感值和Q值.应用有限元分析法分析了平面螺旋电感器电极宽度、电极间距、电极匝数、线圈半径等电极参数对其电感值(L)和品质因数(Q)值的影响.实验结果表明,测试结果在低频段与仿真结果具有很好的一致性,随着频率的升高,测试结果与仿真结果的差别增大,可能是因为测试过程中探头的寄生效应导致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱建华		11	29	2.0	5.0
2	施威		6	12	2.0	3.0
3	陆松杰		3	0	0.0	0.0