氢在α-石英中扩散的从头算分子动力学

• 作者: 周保花 左旭
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: α-石英 氢原子 从头算分子动力学 扩散系数 活化能
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 325-329
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA2019049

摘要

采用从头算分子动力学研究在不同温度(300 K,700 K,1000 K,1200 K)下氢原子在α-石英中的扩散机制,根据爱因斯坦方程计算氢原子的扩散前项因子D0(7.72×10-4 cm2/s)和活化能(0.078 eV).研究结果表明,氢原子在α-石英中的扩散路径有2种.低温下氢原子主要在由硅和氧原子组成的腔中做随机运动,直到跨过一个环到另外一个腔.同时研究温度在1500 K时氢原子的扩散,氢在周围的3个氧原子之间发生跳跃,导致扩散过程中出现了3种缺陷结构,缺陷结构之间可以相互转化.本文研究在微电子器件可靠性分析等方面有应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左旭	南开大学电子信息与光学工程学院	8	16	3.0	4.0
2	周保花	南开大学电子信息与光学工程学院	1	0	0.0	0.0