基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计

• 作者: 史佳欣 王军 陈超
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.003

摘要

基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了电学与热电耦合多物理场有限元仿真模拟分析.通过仿真优化获得探测单元的主要热电参数、响应时间和响应率,分别为:热导4.31×10-8 W/K、热容2.69×10-10 J/K、电压响应率(未经后端读出电路放大)7 200 V/W、热响应时间6.24 ms.采用所提出的微桥设计仿真方法,可显著提高器件设计效率和设计精度,缩短研发周期,可满足超大规模小像元非致冷红外焦平面探测器的设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	电子科技大学光电科学与工程学院	115	936	14.0	26.0
2	陈超	电子科技大学光电科学与工程学院	22	57	4.0	5.0
3	史佳欣	电子科技大学光电科学与工程学院	1	0	0.0	0.0