沉积温度对TiC涂层微观形貌及导电性能的影响

• 作者: 刘文元 唐运生 孙钧 柯昌凤 程军 陈昌华 霍艳坤
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: TiC涂层 化学气相沉积法 沉积温度 微观形貌 表面电阻率
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚态物理和材料科学
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: TG142|TM286
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12061/j.issn.2095-6223.2020.020801

摘要

采用化学气相沉积法在石墨表面制备TiC涂层,并通过SEM、XRD及四探针表面电阻率测试仪研究沉积温度对TiC涂层表面形貌、组成结构及导电性能的影响.结果 表明,在800～1 050℃,沉积温度对TiC涂层的微观结构和导电性能影响显著.沉积温度为800℃时,TiC涂层呈纳米晶状结构;随着沉积温度的升高,TiC涂层颗粒尺寸增大,粗化颗粒尺寸由900℃时的80 nm增大至1 050℃时的约2μm.TiC涂层表面电阻率随沉积温度的升高而降低,当沉积温度由800℃升高至1 050℃时,电阻率由2.55×10-3 Ω·cm降低为1.70×10-3 Q·cm,导电性能得到增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈昌华		46	330	13.0	16.0
2	刘文元		27	384	12.0	19.0
3	孙钧		21	88	5.0	8.0
4	柯昌凤		14	29	3.0	5.0
5	霍艳坤		5	1	1.0	1.0
6	唐运生	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
10	程军		1	0	0.0	0.0