飞秒与纳秒激光在硅表面诱导微纳米结构的对比研究

• 作者: 刘岩 宋琳 陶海岩
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 微纳米结构 扫描电子显微镜 刻蚀
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 页码范围: 216-221
• 页数: 6页
• 分类号: TB3

摘要

在SF6气体环境中,使用波长800 nm脉宽100 fs的飞秒激光和波长355 nm脉宽5 ns的纳秒激光分别对硅表面进行聚焦辐照,经过脉冲累加作用后在其表面形成了乳突型微结构。这两种不同激光所形成的结构形貌相似,但是结构的大小、分布均有着较大的差异,通过对比研究了两种光源条件下形成的乳突型微结构,讨论了两种微结构的形成机制。两种激光诱导微结构的不同主要由于飞秒和纳秒烧蚀机制不同,而且纳秒激光微构造情况下,气体气压对乳突形貌形成的作用更加明显。