区熔法拉制硅单晶中多晶棒化刺工艺探讨

• 作者: 库黎明 朱秦发 王永涛 苏冰 闫志瑞 陈海滨
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 区熔法 硅单晶 多晶棒 化刺工艺
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 234-237
• 页数: 4页
• 分类号: TN3

摘要

区熔硅单晶因其高电阻、高少子寿命的优点,成为电力电子器件制造中不可或缺的半导体材料。本文首先对区熔硅单晶生长的机理进行探究,然后得出了解决多晶棒出刺问题的工艺。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫志瑞		11	30	2.0	5.0
2	库黎明		6	13	2.0	3.0
3	陈海滨		5	10	2.0	3.0
4	苏冰		7	1	1.0	1.0
5	朱秦发		2	3	1.0	1.0
6	王永涛		6	0	0.0	0.0