柔性高温NiCr薄膜应变计研究

• 作者: 刘孟轩 彭斌 黄飞
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: NiCr 高温应变测量 薄膜应变计 电阻温度系数 应变灵敏度因子
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.04.007

摘要

耐高温的NiCr薄膜应变计在航空、航天领域有广泛的需求.采用射频磁控溅射方法制备了NiCr薄膜,研究了溅射气压和衬底温度对NiCr薄膜电阻温度系数的影响规律,结果表明:当溅射气压为0.2 Pa,基片温度为400 ℃时,电阻温度系数最小为130.7×10-6/℃.利用优化的工艺条件,在Hastelloy柔性合金衬底上制备了NiCr薄膜应变计,测试结果表明,所制备的NiCr薄膜应变计在各个温度下其电阻随着应变呈线性变化,其应变灵敏度(GF)因子随温度增加而增大,当温度超过200 ℃后,GF因子缓慢变化.温度为400 ℃时,GF因子达到3.实验得到的基于Hastelloy合金衬底的柔性薄膜应变计为高温应变测量提供了一种新的手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
2	黄飞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	10	101	5.0	10.0
3	刘孟轩	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0