基于MSM结构的表面等离子体共振光纤折射率传感器

• 作者: 张鹏 沈令闻 葛益娴 郭志勇 顾钦顺
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤传感器 表面等离子体共振 MSM结构 折射率 复合膜
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 205-210
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.012

摘要

基于表面等离子体共振(SPR)效应,设计了一种基于多模-单模-多模(MSM)结构的光纤折射率传感器.采用光纤熔接的方式构成MSM结构,并且在单模光纤的表面涂覆二氧化钛/银(TiO2/Ag)复合膜构成传感单元.利用FDTD Solutions仿真分析了单模光纤长度与金属膜厚度对传感器性能的影响.结果 表明:单模光纤长度越长,共振深度越深;TiO2/Ag复合膜中Ag膜厚度为50 nm,TiO2膜厚度为20 nm时,传感器性能最优,在1.33～1.41环境折射率范围内,传感器的灵敏度约为6 875 nm/RIU.实验结果表明该光纤折射率传感器结构制作工艺简单、灵敏度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	南京信息工程大学电子与信息工程学院	13	22	3.0	4.0
2	葛益娴	南京信息工程大学电子与信息工程学院	19	133	5.0	11.0
6	郭志勇	南京信息工程大学电子与信息工程学院	3	0	0.0	0.0
7	沈令闻	南京信息工程大学电子与信息工程学院	2	0	0.0	0.0
8	顾钦顺	南京信息工程大学电子与信息工程学院	2	0	0.0	0.0