原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法

• 作者: 唐飞扬 孟庆林 汝长海 胡志平 谷森 陈俊
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有源漂移抑制法 原位原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM) 自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器 聚焦电子束 p沟道结型场效应晶体管(JFET)模型
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 229-235
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.12|TN386.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.03.010

摘要

为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SEM聚焦电子束对自感应PRC产生干扰的原因;然后提出了基于原位AFM自感应PRC力传感器p沟道JFET模型的有源漂移抑制法,即先对自感应PRC的栅极进行导电连接,再通过控制施加在自感应PRC栅极上的补偿电压消除SEM聚焦电子束对自感应PRC的干扰.实验结果表明,当补偿电压从未施加上升至40V时,原位AFM自感应PRC力传感器读数的漂移率从约13 nm/min下降到1 nm/min左右,同时对自感应PRC及其信号调理电路均无损伤.该方法能有效消除SEM聚焦电子束对原位AFM自感应PRC力传感器的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汝长海	苏州大学机器人与微系统研究中心	21	65	5.0	8.0
3	孟庆林	苏州大学机器人与微系统研究中心	3	1	1.0	1.0
4	谷森	苏州大学机器人与微系统研究中心	6	0	0.0	0.0
5	唐飞扬	苏州大学机器人与微系统研究中心	3	0	0.0	0.0
6	胡志平	苏州大学机器人与微系统研究中心	4	0	0.0	0.0
9	陈俊	多伦多大学机械与工业工程学院	1	0	0.0	0.0