泊松亮斑的模拟仿真研究

• 作者: 南香伶 张凌岳 张林海 赵靓
• 来源期刊: 大学物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 泊松亮斑 菲涅尔衍射 Matlab 光刻
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 82-84
• 页数: 3页
• 分类号: O4-39
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14139/j.cnki.cn22-1228.2020.01.020

摘要

泊松亮斑是证明光波动性的一个重要实验现象.我们根据菲涅尔衍射理论,利用计算机Matlab程序编程,对泊松亮斑形成的衍射过程进行了模拟仿真.通过改变入射光的波长、圆盘的直径、圆盘后成像位置,来研究泊松亮斑及其衍射环的变化规律.研究表明,采用合适的入射波长、圆盘和成像位置,可以实现单暗环或多暗环的光场分布,在半导体微纳加工方面具有一定的应用价值.