氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响

• 作者: 刘王平 李秀萍 王社权 陈响明
• 来源期刊: 硬质合金
• 关键词: TiCN涂层 化学气相沉积 氧掺杂 切削刀具
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 99-105
• 页数: 7页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2020.02.001

摘要

在现有MT-TiCN涂层的CVD制备气氛体系中,通过掺入不同比例的CO气体对MT-TiCN涂层进行氧掺杂处理.采用SEM、EDX、XRD、纳米压痕仪等分析涂层的形貌结构、沉积速率、粒径及成分组成、取向织构、纳米硬度等;采用切削实验测试涂层硬质合金刀片的切削性能,综合分析氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响.结果 表明:涂层中的氧含量随CO掺入比例的提高而增加;氧掺杂导致了涂层细晶纤维状结构的形成,且晶粒尺寸随氧含量的增加而减小;CO掺入比例提高对涂层的沉积速率没有影响;涂层均表现出(422)择优生长取向,但氧掺杂促进了涂层向最密排晶面(111)生长,使涂层的硬度增加;单层氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片的抗磨粒磨损性能降低,但在磨损形式以正常粘附磨损为主的高速切削中,具有超细晶结构及高硬度的氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片及其复合了Al2O3涂层的多层涂层切削刀片均体现出了较好的耐磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王社权		14	88	5.0	9.0
5	陈响明		21	172	8.0	12.0
9	李秀萍		4	36	3.0	4.0
11	刘王平		3	7	2.0	2.0