碳化硼废液微粉回收制备及再利用于蓝宝石衬底加工之研究

• 作者: 包满平 周志豪 李志宇
• 来源期刊: 机械工程与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石衬底 研磨工艺 碳化硼微粉 再利用
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 290-295
• 页数: 6页
• 分类号: TN3

摘要

碳化硼微粉作为蓝宝石衬底研磨工艺中的介质,因其硬度高并可与蓝宝石衬底表面进行磨削,进而修复来自线切痕的损伤以及衬底全区域性的平坦化,故使用量亦蓝宝石衬底需求随之升高。本文简述了对研磨废液中碳化硼微粉的制备及再应用于加工,试验表明研磨后的废液通过物理化学等处理步骤后,可筛分出D50粒径在44~51 µm范围的微粉,并经不同新粉与回收粉比例混合应用于蓝宝石衬底精磨加工。新粉与回收粉搭配3:1作业下Ra分别在1.02 µm与0.99 µm较为相近,以及表面良率分析上回收粉配比在1:3以上与对照组99.66%的差异仅在0.01%~0.04%范围,其结果对于量产上是可被接受,可提供产业一种再利用的方式。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志宇		1	0	0.0	0.0
2	周志豪		8	1	1.0	1.0
3	包满平		1	0	0.0	0.0