基于韦森堡效应微笔直写技术的影响因素

• 作者: 卓丽云 王伟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微笔直写技术 韦森堡效应 增材制造 旋转供液 微流控技术
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 586-593
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|TQ340.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.07.013

摘要

基于韦森堡效应设计出一套微笔直写的实验系统,研究了结构参数和工艺参数对供液规律以及直写规律的影响,以提供一种低成本、结构简易和高精度的直写装置.通过对比实验获得相关直写的最优工艺参数.研究发现,出口处液体形成理想的液体锥,更有利于直写应用.本系统的供液速度随微管道内径、微管道长度、液柱高度以及针芯转动速度的增加而增加.研究了直写速度、供液速度、笔尖高度和笔尖直径等参数对直写结构的影响,最后采用微管道内径300μm、针芯柱径100 μ上m、针芯旋转速度5 000 r/min、直写速度30 mm/s、笔尖高度100 μm及笔尖直径100 μm等相关直写的最优工艺参数,成功直写出聚氧化乙烯(PEO)液膜,并制备出多层微流控芯片.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卓丽云	厦门工学院机械与制造工程学院	7	5	2.0	2.0
2	王伟	厦门工学院机械与制造工程学院	1	0	0.0	0.0