螺旋线镀金薄膜磁控溅射设备的研制

• 作者: 唐榕 宋艳鹏 张吉峰 韩永超
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 螺旋线 金薄膜 磁控溅射设备
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与实验
• 页码范围: 48-50,63
• 页数: 4页
• 分类号: TM924.76
• 字数: 2734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.02.11

摘要

本文详细介绍了用于螺旋线镀金薄膜的磁控溅射设备的研制过程.首先明确了该设备的研制难点,其次对设备的主要组成部分进行了详细的说明,针对设备的几个研制难点提出了解决方案,最后利用研制好的设备进行了膜厚均匀性分析实验.实验表明膜层均匀性良好,达到了预期要求,客户反馈良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐榕		7	3	1.0	1.0
2	张吉峰		13	4	1.0	1.0
3	韩永超		3	0	0.0	0.0
4	宋艳鹏		2	0	0.0	0.0